ファイン材料事業ポリシラン

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感光性グレード「オグソール SI-10」シリーズ

感光性グレード「オグソール SI-10」シリーズ

紫外線照射より分解することにより、露光部と未露光部とで物性差のパターニングが可能な材料です。
屈折率が約1.70前後と高い値を示します。
ポリメチルフェニルシラン（PMPS）を基本構造とし、溶解性や他材料との相溶性を改善するため、独自の変性を行っております。

基本構造

PMPS

紫外線照射による物性値の変化(SI-10-10)

特性	未露光部	露光部
屈折率(589nm)	1.70	1.60
水の接触角(°)	90	85

用途例

光導波路
特殊フォトレジスト
透明保護膜

紫外線照射による吸収スペクトルの変化(SI-10-10)

紫外線照射による吸収スペクトルの変化(SI-10-10)イメージ

物性値（代表）

グレード		SI-10-10	SI-10-20
特徴		標準的ポリシラン溶解性良好	高感度他の反応性化合物と熱硬化可能
分子量	Mn	5600	1100
分子量	Mw	22100	1800
薄膜物性	屈折率(589nm)	1.7	1.71
	比強電率(10kHz)	2.7	-
	誘電正接(10kHz)	0.0008	-
溶解性 (20wt%)	PGMEA	△	◎
	MEK	△	◎
	乳酸エチル	×	×
	c－ヘキサノン	◎	◎
	PGME	×	×
	酢酸ブチル	△	◎
	i－プロパノール	×	×
	NMP	◎	◎
	THF	◎	◎
	キシレン	◎	◎
	トルエン	◎	◎
	アニソール	◎	◎
	酢酸セロソルブ	△	◎
	MIKB	×	◎
	ジクロロメタン	○	◎
	モノクロロベンゼン	◎	◎

◎：よく溶解する　○：溶解する　△：やや溶解する　×：不溶