ファイン材料事業ポリシラン

感光性グレード「オグソール SI-10」シリーズ

  • 紫外線照射より分解することにより、露光部と未露光部とで物性差のパターニングが可能な材料です。
  • 屈折率が約1.70前後と高い値を示します。
  • ポリメチルフェニルシラン（PMPS）を基本構造とし、溶解性や他材料との相溶性を改善するため、独自の変性を行っております。

基本構造

PMPS 

紫外線照射による物性値の変化(SI-10-10)

特性 未露光部 露光部
屈折率(589nm) 1.70 1.60
水の接触角(°) 90 85

用途例

  • 光導波路
  • 特殊フォトレジスト
  • 透明保護膜

紫外線照射による吸収スペクトルの変化(SI-10-10)

紫外線照射による吸収スペクトルの変化(SI-10-10)イメージ 

物性値（代表）

グレード SI-10-10 SI-10-20
特徴
  • 標準的ポリシラン
  • 溶解性良好
  • 高感度
  • 他の反応性化合物と
    熱硬化可能
分子量 Mn 5600 1100
Mw 22100 1800
薄膜物性 屈折率(589nm) 1.7 1.71
比強電率(10kHz) 2.7 -
誘電正接(10kHz) 0.0008 -
溶解性
(10wt%)		 i-プロパノール × ×
THF ○ ○
PGME × ×
MEK × ×
c-へキサノン ○ ○
トルエン ○ ○
PGMEA × ×
乳酸エチル × ×

○：溶解　×：不溶
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